一、专业介绍
随着信息技术的飞速发展，半导体产业已成为现代科技的核心支柱，市场对于高端芯片、微纳传感器等半导体相关产品的需求呈现出持续攀升的态势。譬如人工智能、5G/6G、光伏发电、新能源车等领域，均离不开半导体材料和器件。同时，半导体也是以智能制造为主导“工业4.0”的支撑基础。中国科学院公布的35项“卡脖子”关键技术中，光刻机、芯片、光刻胶、真空蒸镀仪都与半导体相关。
半导体行业是国家的战略性新兴产业，也是上海的支柱产业之一，上海市也被誉为中国硅谷。国家在半导体材料、半导体器件制造和生产工艺等方向急需大量应用型、复合型人才。本微专业以“半导体材料--制造工艺--器件应用”这条完整的产业链为主线，联合企业打通学校教育与企业需求的“最后一公里”，实现“教、学、做” 合一，培养创新型、复合型、高层次的应用型人才，服务于上海制造业中心建设。该微专业毕业生在半导体芯片制造、微纳器件研发等领域有广泛的就业前景。
二、招生对象及招生数
招生对象：面向全校在读本科生。
招生数：拟招生数150。
三、学制与学分
学制1年。须修满12学分。不授予学位，颁发半导体物理与微纳器件制造微专业学习证明。
四、收费情况
160元每学分（参考上海理工大学学分制收费实施办法）
五、课程简介
序号 | 课程名称 | 课程简介 | 先修要求 | 拟任课教师 |
1 | 半导体物理与微纳器件 | 主要介绍固体晶格结构、半导体物理基础、同质PN结、金属半导体、异质结；双极晶体管、MOS场效应晶体管、半导体器件基本原理、基本设计和工作原理。 | 固体物理或 材料物理 | 王兴军 |
2 | 半导体制造工艺 | 介绍半导体器件基本结构、半导体器件制造工艺和技术，还介绍半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控制。 | 半导体物理或固体物理 | 张立瑶 |
3 | 光学检测技术与半导体制造 | 介绍各类光学检测技术的原理，光学检测技术在半导体领域的应用，包括电性能测试、物理性能测试、环境适应性测试等；介绍常用的半导体器件检测设备，如探针台、参数分析仪、可靠性测试设备等。 | 半导体材料 | 于海涛 |
4 | 光波导技术与器件 | 光波导的基本理论、分析方法、器件原理、制作工艺及应用技术。通过本课程的学习，学生能够系统地掌握光波导技术的核心知识，具备设计、分析及制作基本光波导结构及器件的能力。 | 大学物理 | 卜胜利 |
5 | 微纳器件制备与测试 | 课程围绕微纳器件的结构设计、关键工艺步骤与实际制备流程展开，学生将在企业指导下，掌握薄膜沉积、光刻、刻蚀、退火等主要工艺操作，并完成一个基础器件（如PN结或MOS器件）的初步制备与电学测试，培养学生“材料-工艺-器件-测试”一体化能力。 | 半导体物理 | 陈先庆 （企业导师） |
6 | 光刻工艺和实践 | 光刻技术概述、光刻原理、光刻方法的基础上，通过实验实现各类光刻实践，包括：接触式光刻、近接式光刻、投影式光刻、深度紫外线(DUV)光刻和极紫外线(EUV)光刻。 | 半导体物理 | 冯佳计 （企业导师） |
六、招生流程
学生在教务系统里进行报名。
七、招生宣讲
6月9日 18:30-19:00 一教105
6月10日 18:30-19:00 申二教102
八、联系方式
理学院 于老师13564897258 邮箱haitaoyu@usst.edu.cn
联系我们：
